Детали блога

Кремниевые пластинки, которые лежат в основе интегральных схем и полупроводниковых устройств, имеют интересную особенность - плоский край или крошечный вырез в боковой части.Эта маленькая деталь на самом деле служит важной целью для обработки пластинок и изготовления устройств.Как ведущий производитель пластинок, нас часто спрашивают - почему у кремниевых пластинок плоские или выемки?мы объясним функцию плоских и выемки и обсудить некоторые ключевые различия.

*Ищете пластинки с плоскими или вырезами?Кремниевые пластинкиможно заказать онлайн черезWaferPro- с точностью SEMI стандартных плоскостей, выемки, и индивидуальные плоскости для ваших потребностей кремния.

Роль плоскостей и выемки

Кремниевые пластинкиявляются чувствительными и должны обращаться с ними с точностью во время изготовления устройства.Плоскости и выемки обеспечивают машинам место для безопасного сцепления с пластинкой без контакта с основными поверхностями.Это защищает ценную поверхность пластинки от повреждений или загрязнения во время обработки.

Существует два основных типа, используемых в полупроводниковой промышленности:

• Плоские - это прямые края, вырезанные в сторону круглой пластины
• Взломки - крошечные V-образные отрезки в периметре пластины

Машины, которые обрабатываютКремниевые пластинкиимеют конечные эффекторы, специально разработанные для крепкого сцепления плоскостей или выемки для транспортировки и выравнивания в оборудовании для изготовления.Область сцепления сохраняется очень минимальной, чтобы позволить максимальную площадь поверхности для построения интегральной схемы.

Это позволяет автоматизировать и безопасно перемещать пластинки между технологическими оборудованиями на производственных линиях.Операторы также могут осторожно обрабатывать пластины вручную по плоскости/отрезкам при погрузке или разгрузке из кассетных контейнеров..

Почему у них плоские и выемки?

Асимметрия плоской или выемки служит жизненно важной функцией выравнивания для изготовления пластинок.Без них практически не было бы возможности надежно ориентировать пластинку и навести на карту местоположение плит.

Выравнивание и картографирование

Кремниевые пластинкикристаллы имеют атомные структуры, выровненные в определенные плоскости и направления - имеет большое значение, в каком направлении обернулась вафель!

Для установления ориентации этих кристаллических плоскостей и осей используются плоские и выемки.Благодаря асимметрии на периметре инженеры могут точно выровнять необходимые <110> или <100> кристаллические направления.

Такое выравнивание ориентации обеспечивает правильное отображение от вафры до конечных чип-устройств.Маски и оборудование нацелены на конкретные участки по всей поверхности пластины для строительства структур иинтегральные схемы.Неправильное выравнивание может сделать эти устройства бесполезными!

Управление и безопасность

Как уже упоминалось, форма плоскостей/отрезков позволяет безопасно обращаться с оборудованием производства.контактыповерхности пластинок.

Такой контакт рискует загрязнением, которое разрушает функциональность.Установки на периметре предотвращают это загрязнение, одновременно лучше защищая вафлю.

Кроме того, инженеры, как правило, избегают острых углов и краев при обращении с хрупкимиматериалы, такие как кремниевые пластиныПлоские и закругленные выемкиуменьшить количество трещин или разломов по сравнению с обращением с помощью острых краев.

Плоскости или выемки максимизируют устойчивость обработки, освобождая пространство для изготовления устройства.

Плоскости вафеля против выемки вафеля

И плоские, и выемки успешно выполняют одну и ту же роль, так почему же есть два типа?

Плоскости занимают больше места на периметре, но предлагают большую, прямую поверхность сцепления.

Существуют исторические причины, основанные на эволюции промышленности.В начале, плоскости обеспечивали легкий визуальный сигнал и доступ к рукоятке для техников пластины.

В основном тип зависит отдизайн оборудования и спецификации от поставщиков.В настоящее время большинство инструментов легко работают с плоскими или вырезами.

Поэтому на заводах по производству полупроводников используются стандарты, которые лучше всего подходят, а не смешивают и сочетают.

Как ведущий производитель пластин, мы можем поставлять пластинки с плоскими или выемками, как требуют клиенты для своих производственных линий.

Что можно взять с собой

В то время как тонкая особенность, плоские и вырезки позволяют обращение, выравнивание и безопасность дляКремниевые пластинкиОбработка.асимметрияпозволяет безупречно ориентироваться, обеспечивая при этом доступ оборудования к пластинке с хваткой без повреждения поверхности.

В следующий раз, когда вы посмотрите на интегральную схему, подумайте о важной роли, которую сыграла такая крошечная плоскость или вырезка в ее изготовлении!

Без плоскостей или вырезов, триллион и более транзисторов наКремний никогда бы не попал в вашу современную электронику.Еще одна причина, почему, казалось бы, незначительные детали имеют большое значение в производстве полупроводников!