Сапфировые подъемные булавки для полупроводников Керамические подъемные булавки высокой чистоты сапфировые булавки

Сапфировые подъемные булавки для полупроводников Керамические подъемные булавки высокой чистоты сапфировые булавки

Аннотация к статье "Сапфирный подъемник"

Сапфировые подъемные булавки являются деталями с высокой точностью, широко используемыми в

оборудование для обработки полупроводников, особенно для обработки пластин, эпитаксиальноесистемы роста и осаждения, такие как MOCVD (Осаждение металлически-органических химических паров), PECVD (Осаждение химических паров с увеличением плазмы) и другие высокотемпературные, вакуумные,или коррозионной средыИзготовленные из однокристаллического оксида алюминия (Al2O3), также известного как синтетический сапфир, эти подъемники ценятся за их исключительную твердость, тепловую устойчивость, химическую устойчивость,и долговечность.

Свойства подъемного булава Sapphire

Сапфировые подъемные булавки часто изготавливаются на заказ

Преимущества сапфировых подъемных булавок

a.Устойчивость к высоким температурам

Сапфир сохраняет свою механическую прочность при температурах более 1500 ° C, что делает его подходящим для эпитаксиальных реакторов и камер осаждения, где другие материалы могут деформироваться, окисляться или деградировать.

b. Химическая стабильность

Сапфир химически инертен в реактивных и коррозионных газах, таких как H2, NH3 и HF, обеспечивая долгосрочную производительность в среде СВД и гравировки.

в. Чрезвычайная твердость

Высокая твердость поверхности устойчива к износу и царапинам при контакте с пластиной и механическом приводе.

d. Точность измерений

Сапфир можно обрабатывать до узких толерантности (± 1 мкм), обеспечивая постоянную высоту подъема пластинки, точность позиционирования и надежность выравнивания.

e.Производство низкочастиц

В отличие от покрытой керамики или металлов, которые могут отступать или выделяться газом при тепловом цикле, сапфир не производит частиц, что имеет решающее значение для чистых помещений и сверхчистых процессов.

f.Долгий срок службы

Устойчивость к износу и стабильность сапфиров в экстремальных условиях способствуют снижению частоты технического обслуживания и увеличению времени работы оборудования.

Физическое изображение сапфирового подъемного булава

Использование сапфировых подъемных булавок

Сапфировые подъемные булавки используются в целом ряде полупроводниковых и передовых материальных процессов, где пластины должны быть точно обработаны во время изготовления.

a. Системы MOCVD

• Растение полупроводниковых соединений на основе GaN, GaAs и InP

• Производство светодиодов и лазерных диодов

• Вафры из сапфира и субстраты, готовые к эпи

b.Реакторы PECVD и LPCVD

• Передача пластин при отложении тонкой пленки на плазменной основе

• Используется в микроэлектронике, солнечных батареях, MEMS и фотонике

в.Печи для термической обработки

• Высокотемпературная отжига, окисление или диффузия

d.Проверка и обработка пластин

• Механические системы, временно поддерживающие или манипулирующие пластинами

e.Камеры для гравирования и очистки

• Если химическая устойчивость критична при предварительной очистке или очистке пластины

Вопросы и ответы

Вопрос: Какие ключевые факторы следует учитывать при покупке сапфировых булавок?

А:Сценарий применения

• Материальные условия: Определить условия окружающей среды, которым будут подвергаться подъемные булавки, такие как высокие температуры или коррозионная среда.
• Цель: Выбирать подходящую конструкцию на основе конкретного применения (например, спектроскопические измерения, высокоточные приборы и т.д.).

Размеры и спецификации

• Диаметр и длина: Выберите подходящий диаметр и длину в зависимости от размера поддерживаемых или поднимаемых образцов.
• Требования к терпимости: Убедитесь, что подъемные булавки отвечают требованиям измерения допуска вашего приложения для поддержания точности.

Сопутствующие рекомендации по продуктам

сапфировые стержни