 |
Высокая чистота сапфировый подъемник для полупроводниковых пластин обработки пользовательских размеров
Подробная информация о продукте:
| Place of Origin: | China |
| Фирменное наименование: | ZMSH |
Оплата и доставка Условия:
| Количество мин заказа: | 1 |
|---|---|
| Payment Terms: | T/T |
|
Подробная информация |
|||
| Материал: | Сапфир одиночного Кристл | Dimensions: | Customized |
|---|---|---|---|
| Грубость поверхности: | Ra ≤ 0,02 мкм | Working Temperature: | >2000°C |
| Форма наконечника: | Плоские, круглые, конические | Mounting: | Mechanical or Threaded |
| Выделить: | Полупроводниковый подъемник для вафры,Размеры на заказ Сапфировый подъемник,Высокая чистота сапфирового подъемного булава |
||
Характер продукции
Введение продукта
Сапфировый подъемник - это подъемник, изготовленный из высокочистого однокристаллического сапфира, в основном используемый в оборудовании для производства полупроводников для поддержки и перемещения пластинок.Благодаря исключительной устойчивости сапфира к высоким температурам, химическая стабильность и экстремальная твердость, сапфировый подъемник может поддерживать стабильную производительность в суровой среде. Использование сапфирового подъемника значительно снижает риск загрязнения пластины,продлевает срок службы оборудования, и улучшает общую производительность процесса.
Основной принцип
Основной принцип сапфирового подъемного булава заключается в том, чтобы точно поднимать или опускать пластины во время обработки, чтобы обеспечить правильное расположение.Обычно несколько сапфировых подъемных булавок работают вместе, чтобы предотвратить деформацию или повреждение пластиныПоскольку сапфировый подъемник выдерживает высокие температуры, вакуум и коррозионную среду, он предлагает гораздо более длительный срок службы и более высокую надежность, чем обычные материалы.
Спецификации
| Положение | Спецификация |
|---|---|
| Материал | Однокристаллический сапфир |
| Размеры | Настраиваемый |
| Грубость поверхности | Ra ≤ 0,02 мкм |
| Рабочая температура | > 2000°C |
| Коэффициент теплового расширения | 50,8 × 10−6 /°C |
| Сила изгиба | ≥ 400 МПа |
| Прозрачность | Высокая проницаемость в видимом диапазоне |
| Устойчивость к коррозии | Отлично. |
| Форма кончика | Плоский, круглый, конический |
| Установка | Механические или натянутые |
Заявления
Сапфировые подъемные булавки широко используются в оборудовании для гравировки (Etch), химического отложения пара (CVD), физического отложения пара (PVD) и отложения атомного слоя (ALD).и охлаждение, сапфировые подъемники играют решающую роль в поддержке и позиционировании.Сапфировый подъемник стал основным компонентом.
Вопросы и ответы
Вопрос 1: Почему вы выбрали сапфировый подъемник вместо керамического или металлического?
A1: Сапфировый подъемник имеет более высокую химическую устойчивость и тепловую стабильность, способный к длительной работе в коррозионных газах и условиях высокой температуры.
Вопрос 2: Выпускает ли сапфирный подъемник частицы во время использования?
Ответ 2: Благодаря своей чрезвычайно гладкой поверхности, сапфирный подъемник имеет чрезвычайно низкий риск образования частиц, что делает его идеальным для сверхчистых процессов.
Вопрос 3: Требуются ли на разных машинах специальные сапфировые подъемные булавки?
A3: Да, в зависимости от модели машины и требований процесса, сапфировый подъемник часто должен быть настроен по размеру, форме и интерфейсу подключения.
Сопутствующие продукты
