Кварцевая вафельная лодка с высокой чистотой и высокой температурой

Введение продукта

Лодка для пластин, также известная как лодка или носитель, является важным инструментом в производстве полупроводников для удержания, переноса и позиционирования пластин.Его конструкция должна выдерживать экстремальные условия, такие как высокие температуры (>1000°C), химическая коррозия и электростатический разряд (ESD) для обеспечения безопасности пластинок во время различных процессов.

Принцип

- Что?Выравнивание и фиксация:
Дырки для позиционирования на лодке выровняются с булавками в кассете для пластинок, что позволяет передавать партии без ручной обработки.
Двухслойные слоты (верхний и нижний) обеспечивают защиту пластин во время теплового цикла (например, отжига).

- Что?Управление тепловым напряжением:
Материал с низким температурным расширением (0,5×10−6/°C) минимизирует деформацию при колебаниях температуры.
Медоносная структура равномерно распределяет тепловое напряжение.

Совместимость процессов:
Геометрия слотов (например, I-тип, V-тип) вмещает различную толщину вафли (300-800 мкм), обеспечивая при этом поток газофазного реагента.
Диамантное поперечное сечение позволяет двунаправленную роботизированную загрузку, улучшая пропускную способность.

Безопасность и защита:
Буферные компоненты (пружины, резиновые подушки) поглощают механические удары во время размещения пластины.
Очистка азота удаляет остатки, предотвращая загрязнение

Характеристики

Сплавленное стекло кремниевого стекла - это специализированное промышленное стекло из диоксида кремния (SiO2).

• - Что?Устойчивость к высоким температурам:

Точка смягчения: ~1730°C.
Работает непрерывно при температуре 1100-1250°С и выдерживает кратковременное воздействие до 1450°С.

• - Что?Химическая инертность:

Устойчив к большинству кислот (кроме фтористоводородной кислоты).
Сопротивление коррозии в 30 раз выше, чем у керамики и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали.
Сохраняет стабильность в экстремальных тепловых условиях, превосходя другие материалы.

• Тепловая стабильность:

Чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения (~ 5,5×10−7/°C).
Выдерживает тепловой удар (например, нагрев до 1100°C и охлаждение в воде).

• - Что?Оптическая прозрачность:

Широкая спектральная передача от ультрафиолетового (УФ) до инфракрасного (ИФ).
Проницаемость видимого света: > 95%.
Ультрафиолетовая проницаемость достигает пика > 85% в диапазоне 185-250 нм.

• - Что?Электрическая изоляция:

Сопротивляемость в 10 000 раз выше обычного стекла.
Отличные диэлектрические свойства даже при высоких температурах.

Заявления