Введение SiC керамической вилки

ВКерамическая вилка SiC, также известный какКерамический конечный эффект, это высокопроизводительный роботизированный компонент, предназначенный для ультрачистой и высокоточной обработки пластин в производстве полупроводников.керамика из карбида кремния (SiC), этот конечный эффектор обладает исключительной механической прочностью, низким тепловым расширением и отличной химической стойкостью, что делает его идеальным для требовательных процессов, таких как вакуумные камеры,зоны высокой температуры, и коррозионные газовые атмосферы.

В отличие от традиционных металлических или кварцевых эффекторов, SiC керамическая вилка обеспечивает минимальное образование частиц и тепловое искажение.предлагает долгосрочную надежность и точное выравнивание для передачи пластинок, позиционирование и загрузка/разгрузка.

Принцип производстваиз SiC керамической вилки

ВКерамический конечный эффект SiCпроизводится с использованиемкарбид кремния с реакционными связями (RB-SiC)илисиликокарбид синтерированный без давления (SSiC)Производственный процесс обычно включает:

1. Переработка порошка: высокочистый порошок SiC смешивается с связующими веществами и добавками.

2. Формирование: Использование таких методов, как холодное изостатическое прессование (CIP) или литье под давлением, для формирования сложных геометрических форм, включая тонкие форковые руки или выпуклые конструкции.

3. Синтерирование: Тепловая обработка при температуре более 2000°C обеспечивает высокую сплоченность, прочность и микроструктурную однородность.

4. Точная обработка: ЧПУ и бриллиантовая полировка используются для достижения толерантности размеров до микронов и сверхплоских поверхностей, минимизируя повреждения пластинок.

5. Заключительная проверка: Неразрушительные испытания (NDT), измерения измерений и испытания шероховатости поверхности гарантируют, что каждый керамический конечный эффект соответствует стандартам полупроводникового класса.

Весь этот процесс обеспечиваетконечный эффектсохраняет превосходную жесткость, легкие свойства и нереактивность в сложных условиях работы.

Заявленияиз SiC керамической вилки

ВКерамический вилка SiC / конечный эффектшироко используется в полупроводниковых, фотоэлектрических и микроэлектронных областях.

• Системы передачи пластин: Для обработки 6-дюймовых до 12-дюймовых пластинок во время изготовления IC.

• Роботизированные оружия в вакуумных камерах: Для подбора и размещения в процессах CVD, ALD и сухого гравирования.

• Порты погрузки FOUP/FOSB: Интеграция в роботизированные системы для передачи пластин между носителями и модулями процесса.

• Автоматизация чистых помещений: На высокопроизводительных линиях производства полупроводников, где крайне важна ультрачистая обработка.

• Лазерная обработка или отжигание: где высокая температурная стойкость и отсутствие загрязнения являются критическими.

Это...конечный эффектФункция обеспечивает деликатную, но твердую захват полупроводниковых пластин без механического напряжения или загрязнения.

Преимуществаиз SiC керамической вилки

• Высокая чистотаОтличная устойчивость к загрязнению.

• Тепловая устойчивость: Сохраняет жесткость и форму при тепловом цикле.

• Низкое тепловое расширениеПредотвращает термическую деформацию, улучшая выравнивание пластины.

• Устойчивость к химическим веществам: инертны для коррозионных газов и плазменной среды.

• Механическая прочность: устойчивы к переломам, трещинам и деформации при механической нагрузке.

• Плоскость поверхности: Ультрагладкие контактные поверхности уменьшают риск царапины пластины.

Спецификациииз SiC керамической вилки

Часто задаваемые вопросыиз SiC керамической вилки

Вопрос 1: Почему вы выбрали конечный эффект из керамики SiC вместо кварца или алюминия?
А1:Керамика SiC обладает превосходной теплостойкостью, механической прочностью и более длительным сроком службы по сравнению с кварцевыми или металлическими материалами, особенно в суровых плазменных или высокотемпературных условиях.

Q2: Можно ли настроить керамические вилки, чтобы они соответствовали размеру моего робота или пластины?
А2:Да, мы предлагаем полную настройку геометрии вилки, размеров отверстия, и интерфейсов для монтажа, чтобы соответствовать вашей роботизированной системе и спецификациям вафеля.

Вопрос 3: Безопасны ли эти конечные эффекторы для использования в вакуумных или плазменных системах?
А3:Си Си керамика полностью совместима с ультравысоким вакуумом, плазменной гравировкой и реактивной ионной гравировкой из-за своей химической инертности и низкого выброса газов.

Вопрос 4: Насколько долговечна крепежная вилка из керамического SiC при повторном использовании?
А4:Высокая твердость и выносливость SiC® позволяют ему выдерживать повторные тепловые циклы и механическую обработку без деградации, что делает его идеальным для непрерывной производственной среды.

Q5: Вы предоставляете тестирование или сертификацию для каждого конечного эффектора?
A5:Да, все продукты проходят строгий осмотр размеров, испытания плоскости и проверку материалов.

Сопутствующие продукты

12-дюймовая пластина с Си-Си 300 мм пластина с карбидом кремния Проводящая фиктивная степень N-типа Исследовательский класс

4H/6H P-type Sic Wafer 4inch 6inch Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° В сторону допинга типа P