Керамический лоток из карбида кремния (SiC) для высокотемпературной обработки

Обзор

Керамические лотки из карбида кремния (SiC) - это высокопроизводительные держатели, разработанные для работы в сложных термических, химических и механических условиях. Обладая исключительной твердостью, устойчивостью к термическому удару и стабильностью при повышенных температурах, лотки SiC стали предпочтительным решением для обработки полупроводников, производства светодиодов, спекания передовых материалов и высокочистых термических применений. Их долговечность и низкие характеристики загрязнения обеспечивают стабильную надежность процесса и длительный срок службы.

Свойства материала

Керамика из карбида кремния обеспечивает сочетание физических и химических свойств, превосходящих традиционные лотки из оксида алюминия и кварца:

• Высокая термостойкость: Стабильная работа выше 1600–1700 °C, подходит для высокотемпературных печей.

• Отличная устойчивость к термическому удару: Циклы быстрого нагрева и охлаждения без растрескивания.

• Высокая твердость и износостойкость: Продлевает срок службы при механическом напряжении.

• Низкое тепловое расширение (CTE): Обеспечивает стабильность размеров во время термического цикла.

• Высокая теплопроводность: Способствует равномерному распределению тепла, улучшая однородность спекания.

• Коррозионная и окислительная стойкость: Значительно снижает риск загрязнения.

• Низкое газовыделение: Подходит для сверхчистых процессов.

Производственный процесс

Керамические лотки SiC обычно изготавливаются методом беспрессового спекания, реакционного спекания (RBSiC), или химического осаждения из паровой фазы (CVD-SiC) в зависимости от требований к чистоте и производительности:

• RBSiC (реакционно-спеченный SiC): Высокая прочность, отличные свойства термического удара, экономичность.

• SSiC (спеченный SiC): Более высокая чистота, более высокая плотность, лучшая химическая стабильность, идеально подходит для полупроводников.

• CVD-SiC покрытие: Обеспечивает чрезвычайно чистые, без пор, коррозионностойкие поверхности для передовых процессов обработки пластин.

Каждый производственный маршрут обеспечивает высокую однородность, точный контроль размеров и настраиваемую геометрию.

Основные области применения

Керамические лотки SiC широко используются в различных отраслях:

Полупроводники и микроэлектроника

• Загрузка пластин, высокотемпературная обработка, поддержка LPCVD/PECVD

• Диффузия, окисление, быстрые термические процессы

• Платформы для транспортировки и переноса материалов высокой чистоты

Производство светодиодов и оптоэлектроники

• Спекание и отжиг сапфировых, GaN, SiC пластин

• Поддержка эпитаксии и высокотемпературной термообработки

Порошковая металлургия и спекание

• Спекание керамики, магнитных материалов и порошков металлов

• Высокотемпературные печные держатели и сепараторы

Литиевые батареи и передовые материалы

• Прокаливание порошков, фосфатирование, высокотемпературное покрытие

• Опорные приспособления для передовых энергетических материалов

Общие промышленные печи

• Высокотемпературный обжиг, термообработка, термический цикл

Преимущества керамических лотков SiC

По сравнению с традиционными графитовыми, глиноземными или металлическими лотками, керамические лотки SiC предлагают значительные преимущества:

• Более длительный срок службы в повторяющихся высокотемпературных циклах

• Меньшее загрязнение, обеспечивающее стабильное качество процесса

• Более высокая механическая прочность для сопротивления деформации

• Равномерная теплопроводность для улучшения однородности продукта

• Настраиваемый дизайн, включая прорези, отверстия, канавки и сложные геометрии

• Совместимость с чистыми помещениями и вакуумной средой

Доступные спецификации

Мы предлагаем стандартные и изготовленные на заказ лотки, в том числе:

• Плоские лотки, пористые лотки, решетчатые лотки

• Размеры: Стандартные размеры включают 100–500 мм; настраиваемые

• Толщина: 3–20 мм или по запросу заказчика

• Варианты материалов: RBSiC, SSiC, CVD-SiC

• Обработка поверхности: Полировка, CVD-покрытие, снятие фасок, лазерная маркировка

Поддерживаются услуги OEM/ODM для специальных моделей печей, автоматизированных систем или конкретных производственных линий.

FAQ

В1: В чем разница между лотками RBSiC и SSiC?

RBSiC обеспечивает отличную механическую прочность при меньшей стоимости, в то время как SSiC обеспечивает более высокую чистоту, лучшую коррозионную стойкость и идеально подходит для полупроводниковой среды.

В2: Могут ли лотки SiC выдерживать быстрые термические циклы?

Да. SiC обладает выдающейся устойчивостью к термическому удару, что делает его пригодным для процессов быстрого нагрева и охлаждения.

В3: Можно ли настроить форму лотка?

Конечно. Мы можем производить лотки со сложной геометрией, включая канавки, отверстия, края и многослойные структуры.

В4: Будет ли SiC загрязнять продукты во время работы при высокой температуре?

Нет. SiC химически стабилен, устойчив к окислению и имеет низкое газовыделение, что обеспечивает низкое загрязнение.

В5: Требуют ли лотки SiC специального метода очистки?

Очистка зависит от марки материала: SSiC и CVD-SiC допускают очистку кислотами/щелочами; RBSiC требует более мягких методов, чтобы избежать изменения поверхности.

Сопутствующие товары

6-дюймовый графитовый лоток из карбида кремния SiC с покрытием, высокотемпературные графитовые пластины

Керамический патрон из карбида кремния для SiC сапфировых Si GAAs пластин

О нас

ZMSH специализируется на высокотехнологичной разработке, производстве и продаже специального оптического стекла и новых кристаллических материалов. Наша продукция обслуживает оптическую электронику, потребительскую электронику и военную промышленность. Мы предлагаем сапфировые оптические компоненты, крышки для линз мобильных телефонов, керамику, LT, карбид кремния SIC, кварц и полупроводниковые кристаллические пластины. Обладая квалифицированным опытом и передовым оборудованием, мы преуспеваем в обработке нестандартной продукции, стремясь быть ведущим высокотехнологичным предприятием по производству оптоэлектронных материалов.