Обзор продукции

А.Сапфировая подъемная булавкаявляется деталем с высокой точностью, изготовленным из высокочистого однокристаллического сапфира (Al2O3). Он предназначен для подъема, позиционирования и переноса пластин в оборудовании для обработки полупроводников.Сапфировые подъемные булавки широко используются в сердечно-сосудистой болезни, PECVD, PVD, MOCVD, RTP, системы диффузии, гравирования и эпитаксии, где необходимы высокотемпературная устойчивость, химическая стабильность и ультрачистая производительность.

Благодаря исключительной механической прочности и износостойкости сапфира,Эти подъемные булавки помогают минимизировать генерацию частиц, обеспечивая при этом точное обращение с пластинами во всех процессах производства полупроводников.

Ключевые особенности

Высокочистый однокристаллический сапфир

Изготовлен из высококачественного оптического однокристаллического сапфира, обеспечивающего отличную чистоту, механическую прочность и долгосрочную надежность в требовательных средах полупроводников.

Выдающаяся устойчивость к высоким температурам

Сапфир сохраняет отличную размерную стабильность и механические свойства при повышенных температурах, что делает его подходящим для высокотемпературного осаждения, отжига и термической обработки оборудования.

Отличная устойчивость к химическим веществам и плазме

Материал обладает исключительной устойчивостью к коррозионным процессуальным газам, плазменным средам и агрессивным химическим веществам, что значительно увеличивает срок службы компонента.

Производство сверхнизкочастиц

С твердостью Моха 9 и исключительной износостойкостью, сапфировые подъемные булавки уменьшают загрязнение частицами, вызванными трением, помогая улучшить урожайность пластины и последовательность процесса.

Высокоточное производство

Каждый подъемный шприц изготавливается с высокой точностью, полируется и проверяется, чтобы соответствовать строгим стандартам полупроводниковой промышленности для точности измерений и отделки поверхности.

Типичные спецификации

Размеры и допуски по заказу.

Заявления

Сапфировые подъемники широко используются в:

• Оборудование для обработки полупроводниковых пластин
• Химическое отложение паров (CVD)
• Усиленная сердечно-сосудистая болезнь плазмы (PECVD)
• Физическое осаждение паров (PVD)
• Металлическая органическая СВД (MOCVD)
• Быстрая термическая обработка (RTP)
• Дифузионные печи
• Системы плазменного гравирования
• Оборудование для эпитаксии
• Производство полупроводников SiC и GaN
• Производство светодиодных пластин

Преимущества сапфировых подъемных булавок

• Отличная тепловая устойчивость при высокотемпературной обработке
• Высокая твердость и износостойкость (твердость Моха 9)
• Выдающаяся химическая и плазменная коррозионная стойкость
• Ультранизкая генерация частиц для применения в чистых помещениях
• Высокая электрическая изоляция
• Долгий срок службы с уменьшенным обслуживанием
• Отличная размерная стабильность для точной позиционирования пластины

часто задаваемые вопросы (FAQ)

1Что такое сапфирный подъемник?

Сапфировый подъемник - это прецизионный компонент, изготовленный из однокристаллического сапфира (Al2O3), который используется для подъема, поддержки и позиционирования полупроводниковых пластинок во время производственных процессов.Он обычно устанавливается в СВД, PVD, PECVD, MOCVD, RTP и оборудование для офорта, где требуется высокая температура, химическая устойчивость и низкая генерация частиц.

2Почему сапфир используется для подъемных булавок?

Сапфир имеет несколько преимуществ по сравнению с обычными керамическими или металлическими материалами, в том числе:

• Отличная стабильность при высоких температурах
• Высокая износостойкость (жесткость Моха 9)
• Низкая генерация частиц
• Выдающаяся химическая и плазменная устойчивость
• Высокая электрическая изоляция
• Долгий срок службы

Эти свойства делают сапфир идеальным материалом для точной обработки пластинок.

3Какое полупроводниковое оборудование использует сапфировые подъемные булавки?

Сапфировые подъемники широко используются в:

• Системы СВД
• Системы PECVD
• Оборудование ПВД
• Реакторы MOCVD
• Системы RTP
• Дифузионные печи
• Оборудование для плазменного гравирования
• Системы проверки и обработки пластинок
• оборудование для производства полупроводников SiC и GaN