 |
SiC Wafer Hand для обработки пластин, совместимая с чистой комнатой, устойчивая к коррозии, настраиваемый интерфейс
Подробная информация о продукте:
| Фирменное наименование: | ZMSH |
|
Подробная информация |
|||
| Плотность: | 3.21 г/см3 | Твердость: | Твердость 2500Vickers |
|---|---|---|---|
| Размер зерна: | 2 ~ 10 мкм | Химическая чистота: | 99.99995% |
| Тепловая мощность: | 640J·kg-1 ·K-1 | Температура сублимации: | 2700°C |
Характер продукции
Введение продукта Wafer Hand
Рука с пластинкой из Си-Си является конечным эффектором, предназначенным для обработки пластинки с высокой твердостью и тепловой устойчивостью.Он обладает превосходной механической прочностьюИдеально подходит для обработки передовых полупроводниковых субстратов, таких как SiC, GaN,и сапфира в чистой комнате и высокотемпературной среде.
Структура и принцип работы Wafer Hand
Рука пластинки SiC поддерживает пластинки по краю или задней стороне с помощью вилки-подобных конструкций или пользовательских платформ.или механические рукоятки позволяют бесконтактную или минимальную контактную передачуЕго высокая конструктивная жесткость обеспечивает стабильность измерений во время транспортировки, что позволяет точно расположить пластинку и минимально снизить риск загрязнения.
Сферы применения вафловой руки
Ключи для пластин широко используются в следующих полупроводниковых и оптоэлектронных процессах:
1Системы транспортировки пластин (например, EFEM, FOUP-погрузчик, SMIF-интерфейсы)
2.Загрузка/разгрузка пластин для литографии, гравировки, имплантации ионов, термической обработки
3Инструменты для проверки, сортировки и классификации пластинок
4.Связывание, разбивка на куски, упаковка и последние испытательные станции
5.Прецизионная обработка в дисплеях, MEMS и изготовлении биочипов
6. Подходит для Si, SiC, GaAs, GaN, сапфира и других субстратов
Преимущества продуктаиз WПо рукам.
A: Поддерживает 2-дюймовые до 12-дюймовых пластинок; также доступны индивидуальные размеры.
Вопрос 2: Поцарапает или загрязнит ли вафля рукой?
Ответ: Нет. Рука изготовлена из материала с низким содержанием частиц, устойчивого к износу, с разветвленными краями и соответствием требованиям чистой комнаты.
Вопрос 3: Можно ли интегрировать его с робототехническими системами?
О: Да, он поддерживает различные робототехнические интерфейсы (например, стандарты SECS / GEM, SEMI) и может быть настроен для конкретных систем.
Q4: Каков ожидаемый срок службы и требования к техническому обслуживанию?
A: предназначен для более 1 миллиона циклов работы с минимальным техническим обслуживанием; достаточно периодической очистки.
Q5: Можно ли настроить его на основе различных материалов вафры (Si, SiC, Sapphire и т. Д.)?
О: Да. Мы предлагаем индивидуальные конструкции, оптимизированные для различных материалов для пластинок с соответствующими конструкциями поддержки.
Сопутствующие продукты