 |
SiC несущая пластина теплопроводность коррозионная стойкость MOCVD вафель
Подробная информация о продукте:
| Место происхождения: | Китай |
| Фирменное наименование: | ZMSH |
Оплата и доставка Условия:
| Условия оплаты: | T/T |
|---|
|
Подробная информация |
Характер продукции
Введение пластинки-носителя SiC
SiC Carrier Plate представляет собой высокоточную подложку, изготовленную из высокочистого карбида кремния.и отличная устойчивость к химической коррозииС точностью обрабатываемой и полированной поверхности, пластинки-носители SiC широко используются в обработке пластин, эпитаксии MOCVD, высокотемпературной отжиге и других требовательных приложениях.По сравнению с традиционными материалами, такими как кварц или АЛН, SiC обеспечивает превосходную тепловую стабильность и длительный срок службы.
Рабочий принципиз SiC несущей пластины
В высокотемпературных процессах пластина-носитель SiC служит опорой для переноса пластин или тонкопленочных материалов.улучшение стабильности и единообразия процессовКроме того, благодаря своей твердости и химической инертности, пластина сохраняет структурную целостность даже в коррозионной среде, обеспечивая чистоту продукции и безопасность оборудования.
Типичные примененияиз SiC несущей пластины
- Поддержка субстрата при эпитаксии MOCVD
- Тепловая обработка полупроводников с широким диапазоном, таких как SiC и GaN
- Процессы отжигания, синтерации и диффузии для пластинок
- Раскидыватели и носители тепла в производстве светодиодных микросхем
- Транспорт и поддержка материалов в условиях высокого вакуума или коррозионной среды
Вопросы и ответыиз SiC несущей пластины
Вопрос 1: Какова максимальная рабочая температура пластин-носителей SiC?
A: Сиркокарбонатные пластины обычно выдерживают температуру до 1600 °C или выше, в зависимости от среды и продолжительности обработки.
Вопрос 2: Как SiC сравнивается с AlN или кварцевыми носителями?
Ответ: SiC обладает более высокой теплопроводностью, превосходной тепловой устойчивостью и более длительным сроком службы, что делает его идеальным для суровых и многократных применений.
Q3: Можно ли настроить размер и форму?
О: Да, мы предлагаем индивидуальные размеры, толщины, формы отверстий и отделки поверхности, чтобы соответствовать вашим конкретным требованиям к оборудованию и процессу.
Сопутствующие продукты