Введение продукта

Сапфировые выгравированные пластинки изготавливаются с использованием высокочистых однокристаллических сапфировых (Al2O3) субстратов, обработанных путем передовой фотолитографии в сочетании стехнологии влажного и сухого гравированияПродукты отличаются высокоравномерными микроструктурными узорами, отличной точностью измерений и выдающейся физической и химической стабильностью.изготовление из них подходящих для высоконадежных приложений в микроэлектронике, оптоэлектроника, упаковка полупроводников и передовые исследовательские области.

Сапфир известен своей исключительной твердостью и стабильностью, с твердостью Моха 9, уступающей только бриллианту.на сапфировой поверхности могут образовываться хорошо определенные и повторяющиеся микроструктуры, обеспечивая четкие края узоров, стабильную геометрию и отличную консистенцию в различных партиях.

Технологии гравирования

Мокрый гравюра

Мокрое гравирование использует специализированные химические растворы для выборочного удаления сапфирового материала и формирования желаемых микроструктур.и относительно более низкие затраты на переработку, что делает его подходящим для обработки больших площадей и приложений с умеренными требованиями к профилям боковых стен.

С помощью точного контроля состава раствора, температуры и времени гравировки можно достичь стабильного контроля глубины гравировки и морфологии поверхности.Мокрые сапфировые пластинки широко используются в светодиодных упаковочных подложках, структурных слоев поддержки и выбранных приложений MEMS.

Сухое гравирование

Сухое гравирование, такое как плазменное гравирование или реактивное ионное гравирование (RIE), использует высокоэнергетические ионы или реактивные виды для гравирования сапфира с помощью физических и химических механизмов.Этот метод обеспечивает превосходную анизотропию, высокая точность и отличная способность к передаче шаблонов, что позволяет изготавливать тонкие черты и микроструктуры с высоким соотношением аспектов.

Сухое гравирование особенно подходит для приложений, требующих вертикальных боковых стен, четкого определения особенностей и строгого управления размерами, таких как устройства Micro-LED,передовые полупроводниковые упаковки, и высокопроизводительные структуры MEMS.

Основные особенности и преимущества

• Высокочистая однокристаллическая сапфировая подложка с отличной механической прочностью

• Гибкие варианты процесса: влажное или сухое гравирование на основе требований приложения

• Высокая твердость и износостойкость для долгосрочной надежности

• Отличная тепловая и химическая устойчивость, подходящая для суровых условий

• Высокая оптическая прозрачность и стабильные диэлектрические свойства

• Высокая однородность узора и последовательность от партии к партии

Заявления

• Опаковки и испытательные субстраты для светодиодных и микросветодиодных ламп

• Носители полупроводниковых чипов и передовые упаковки

• Датчики MEMS и микроэлектромеханические системы

• Оптические компоненты и конструкции точного выравнивания

• Научно-исследовательские институты и разработки микроструктур на заказ

Конфигурация и услуги

Мы предлагаем всеобъемлющие услуги по настройке, включая дизайн шаблонов, выбор метода офорта (мокрый или сухой), контроль глубины офорта, толщину субстрата и варианты размеров,с односторонним или двусторонним гравированиемСтрогие процедуры контроля качества и инспекции гарантируют, что каждая вафля с сапфиром отвечает высоким стандартам надежности и производительности до поставки.

Часто задаваемые вопросы

Вопрос 1: В чем разница между влажным и сухим гравюрами для сапфира?

А:Мокрое гравирование основано на химических реакциях и подходит для большой площади и экономичной обработки, в то время как сухое гравирование использует плазменные или ионные методы для достижения более высокой точности,лучшая анизотропияВыбор зависит от сложности конструкции, требований точности и расходов.

Q2: Какой процесс офорта я должен выбрать для моего приложения?

А:Мокрое гравирование рекомендуется для приложений, требующих однородных узоров со средней точностью, таких как стандартные светодиодные субстраты.или приложениями Micro-LED и MEMS, где важна точная геометрия.

Q3: Можете ли вы поддерживать индивидуальные образцы и спецификации?

А:Да, мы поддерживаем полностью настраиваемые конструкции, включая макет узора, размер элемента, глубину нанесения, толщину пластины и размеры подложки.