 
|
Полностью автоматическая машина для разжижения вафель Si SiC GaN Сверхтонкая вафельная шлифовка
Подробная информация о продукте:
| Место происхождения: | Китай |
| Фирменное наименование: | ZMSH |
|
Подробная информация |
|||
| Wafer Size: | 2" 4" 6" 8"12" | Thinning Range: | 20μm - 800μm |
|---|---|---|---|
| Spindle Speed: | 500 - 6000 rpm | Cooling System: | Water + Air Cooling |
| Power Supply: | AC 380V ±10%, 50/60Hz, 3-phase | Вес: | Приблизительно 1500 кг. |
| Выделить: | Полностью автоматическая машина для разжижения вафель,Машина для разжижения вафель с СиСи,Машина для разжижения вафель GaN |
||
Характер продукции
Введение продукта
Машина для разжижения пластинок является важным инструментом в производстве полупроводников, предназначенным для уменьшения толщины пластинок с помощью точной шлифовки и полировки.Эта машина для разжижения пластинок обеспечивает высокую однородность и качество поверхностиОн играет важную роль в таких приложениях, как силовые устройства, MEMS и датчики изображения CMOS.
Рабочий принцип
Машина для разжигания пластинок работает путем закрепления пластины и включения ее с помощью высокоскоростного вращающегося шлифовального колеса.Эта машина для разжижения пластинок включает в себя передовые системы управления для мониторинга давления и толщины шлифования в режиме реального времениИнтегрированные механизмы охлаждения и очистки улучшают производительность обработки и минимизируют повреждения.
Спецификация машины для разбавления вафелей
| Параметр | Спецификация | Примечания |
| Размер пластинки | Ø2" до Ø12" (необязательно: Ø8" и выше) | Поддерживает до 300 мм |
| Диапазон истончения | 50 - 800 мкм | Минимальная возможная толщина: 20 мкм (в зависимости от материала) |
| Точность толщины | ± 1 мкм | С опциональным измерением толщины в линейке |
| Грубость поверхности | < 5nm Ra (после мелкого измельчения) | Зависит от материала и типа колеса |
| Тип шлифовального колеса | Колесо алмазной чашки | Заменяемый |
| Скорость вращения шпинделя | 500 - 6000 оборотов в минуту | Бесступенчатое регулирование скорости |
| Вакуумный насос. | Поддерживается | Пористый керамический вакуумный цинк |
| Система охлаждения | Вода + охлаждение воздухом | Предотвращает тепловое повреждение |
| Режим работы | Сенсорный экран с управлением PLC | Параметры регулируемые и программируемые |
| Факультативные характеристики | Автоматическая загрузка/разгрузка, монитор толщины, выравнивание CCD | Настраиваемый |
| Силовое питание | Обменное давление 380 В ± 10%, 50/60 Гц, 3-фазное | Доступные варианты напряжения на заказ |
| Размеры машины | Приблизительно 1800 мм × 1500 мм × 1800 мм | Может немного отличаться в зависимости от модели |
| Вес | Приблизительно 1500 кг. | Без системы автоматической обработки |
Заявления
Машина для разжижения пластинок широко используется в различных процессах производства полупроводников, где требуются сверхтонкие пластины, такие как упаковка 3D IC, изготовление силовых устройств, датчики изображения,и микросхем RFМашины для разжижения вафли часто сочетаются с послеразжигающими процессами, такими как металлизация задней стороны, чтобы обеспечить полное разжигание.
Кроме того, машина для разжижения пластинок применима в следующих сценариях:
-
Продвинутая упаковка:В том числе FO-WLP, 2.5D и 3D упаковки, где более тонкие пластины позволяют более высокую интеграцию и более короткие взаимосвязи.
-
Производство устройств MEMS:Разжигание пластинки улучшает чувствительность датчиков, высвобождая структурный слой.
-
Силовые полупроводниковые устройства:Такие материалы, как SiC и GaN, требуют разжижения пластин для уменьшения потерь проводимости и улучшения рассеивания тепла.
-
Лидарные чипы:Растягивание пластинки обеспечивает лучшее оптическое выравнивание и электрическую производительность.
-
НИОКР и Академия:Университеты и научно-исследовательские учреждения используют эту машину для изучения структуры полупроводников и проверки новых материалов.
Вопросы и ответы
Q1:Какие материалы могут быть обработаны этой машиной для разжижения пластинок?
A1:Наша машина для разжижения пластинок совместима с широким спектром материалов, включая кремний (Si), карбид кремния (SiC), нитрид галлия (GaN), сапфир, арсенид галлия (GaAs) и многое другое.
Вопрос 2: Как эта машина для разжижения пластинок обеспечивает равномерную толщину?
A2: Он использует высокоточную глазку для шлифовки с мониторингом толщины в режиме реального времени и адаптивными системами управления для поддержания постоянных результатов тонкости.
Вопрос 3: Какой диапазон толщины этой машины для разжижения пластинок?
A3: Вафли могут быть разрежены до 50 мкм или даже тоньше, в зависимости от материала и требований к применению.
Сопутствующие продукты