TGV Стеклянный субстрат с проходным покрытием Полупроводниковые упаковки JGS1 JGS2

Обзор продукции

 
Технология TGV (Through Glass Via), также известная как технология стеклянного отверстия, представляет собой вертикальную технику электрического соединения, которая проникает в стеклянные подложки.Он позволяет вертикальные электрические соединения на стеклянных подложкахВ то время как технология TSV (Through Silicon Via) используется для интерпозеров в субстратах на основе кремния,TGV служит той же цели в стеклянных субстратах.
Стеклянные подложки представляют собой следующее поколение материалов для чипов, основной компонент которых является стекло.Промышленная цепочка стеклянного субстрата включает производство, сырья, оборудования, технологий, упаковки, испытаний и приложений, с сегментами вверх по течению, сосредоточенными на производстве, материалах и оборудовании.
 

Преимущества

• Высокочастотные электрические характеристики
• Легкость получения крупномасштабных сверхтонких стеклянных субстратов
• Эффективность затрат
• Упрощенный процесс
• Сильная механическая устойчивость
• Широкий потенциал применения

 
Технические принципы


а) Приготовить стеклянные пластинки
b) Форма TGV (через стеклянные пути)
(c) Осаждение PVD барьерный слой и семенной слой, выполнять двойную сторону электропластировки для осаждения меди
(d) Отжигание и CMP (химическая механическая полировка) для удаления поверхностного медного слоя
e) ПВД-покрытие и фотолитография
(f) RDL изготовления (слой перераспределения)
g) Снять фоторезистент и выполнять нанесение на Cu/Ti
h) Пассивирующий слой формы (диэлектрический слой)
 
Подробные шаги:
 
Процесс изготовления TGV (Through Glass Via) начинается с проверки поступающего материала, за которой следует формирование с помощью методов, включающих пескоструй, ультразвуковое бурение, влажное гравирование,глубокое реактивное ионное гравирование (DRIE), фоточувствительная гравировка, лазерная гравировка, лазерная глубокая гравировка и сфокусированное сверление разряда, затем проходят проверку и очистку.
 
Through Glass Vias (TGV) изготавливаются с использованием технологии плазменного офорта.

 
После того, как отверстие сформировано, необходимо проверить отверстие, например, скорость проникновения, посторонние вещества, дефекты панели и т. Д.
 

1. через целостность ¢ обнаружение утечек и непроводящих путей. спецификации размера диафрагмы: 10/30/50/70/100 мкм; внешний диаметр должен превышать внутренний диаметр на ≥ 60%. критерии дефекта: площадь;циркулярность (контроль ≥ 95%); допустимость диаметра (± 5 мкм).

2. Инородный материал в проемах Проверьте непрерывность и обнаружите остатки (осколки стекла, углеродные волокна, клеи, пыль).

3. Дефекты панелей Разломы, дефекты гравировки (ямы), загрязнители, царапины.

 
Опять же, электропокрытие снизу вверх обеспечивает бесшовное заполнение TGV;

 
Наконец, временное склеивание, обратная шлифовка, химическая механическая полировка (CMP) для обнаружения меди, развязывание и формирование сквозного стекла через технологию (TGV) металлически заполненной переносной доски.Во время процесса, также требуются полупроводниковые процессы, такие как очистка и испытания.
 
a) Бурение LIDE
b) Заполнение электропластировкой
в) CMP
d) Формация RDL передней стороны
e) Полимидный слой
f) Удар
g) Временное закрепление
h) Заднешнее шлифование и формирование RDL
(i) Несущая пластина, освобожденная от обязательств
 
 

Заявления
Высокочастотная связь (5G/6G чип-пакет)
Высокопроизводительные вычислительные и ИИ чипы
Автономные модули LiDAR, автомобильные радары, управляющие модули.
Имплантируемые устройства (например, нейронные зонды), высокопроизводительные биочипы.

Вопросы и ответы
Вопрос 1: Что такое стекло TGV?
А1:Стекло TGV: стеклянная подложка с вертикальными проводящими проводами для высокоплотных чипных соединений, подходящая для высокочастотных и 3D упаковок.
 
Вопрос 2: В чем разница между стеклянной подложкой и кремниевой подложкой?
А2:

• Материалы: стекло - изолятор (низкая диэлектрическая потеря), кремний - полупроводник.
• Высокочастотные показатели: потеря сигнала стекла в 10-100 раз ниже, чем у кремния.
• Стоимость: Стеклянная подложка стоит примерно 1/8 кремния.
• TGV (Through Glass Via): металлизированный вертикальный канал, сформированный на стеклянной подложке, без необходимости дополнительного изоляционного слоя, и более простой процесс, чем через кремний через (TSV).

 
Вопрос 3: Почему выбирать стеклянные подложки?
А3:

• Высокочастотный превосходство:Низкий Dk/Df минимизирует искажение сигнала в полосах 5G/6G mmWave (24-300 GHz).
• Эффективность затрат: обработка панелей большой площади (например, стеклянные панели поколения 8.5) снижает затраты на 70% по сравнению с кремниевыми пластинами.
• Тепловая и механическая устойчивость: почти нулевая искривленность даже при сверхтонкой (<100 мкм) толщине. Устойчивость CTE уменьшает тепловое напряжение в многоматериальных системах.
• Оптическая прозрачность: позволяет гибридную электрическую/оптическую интеграцию (например, LiDAR, AR дисплеи).
• Масштабируемость: поддерживает упаковку на уровне панели (PLP) для массового производства передовых 3D-IC.

 
Сопутствующие продукты