Сплавленные кварцевые пластинки Высокая чистота тепловой стабильности и оптической прозрачности для передовых приложений

Обзор продукции расплавленных кварцевых пластин

Сплавленный кремний, который является аморфной фазой кварца (SiO2), в отличие от боросиликатного стекла, не содержит добавок; поэтому он существует в чистом виде, SiO2.Сплавленный кремний имеет более высокую передачу в инфракрасном и ультрафиолетовом спектре по сравнению с обычным стекломСплавленный кремний производится путем плавления и повторного затвердевания сверхчистого SiO2.С другой стороны, синтетический расплавленный кремний изготавливается из богатых кремнием химических прекурсоров, таких как SiCl4, которые газифицируются, а затем окисляются в атмосфере H2 + O2.В этом случае SiO2 пыль расплавляется с кремниевым газом на подложке.

Ключевые особенности и преимущества расплавленных кварцевых пластин

• Сверхвысокая чистота (≥ 99,99% SiO2)
  Идеально подходит для процессов, чувствительных к загрязнению, в полупроводниках и фотонике.

• Широкий диапазон температур
  Выдерживает криогенные температуры >1100 °C без деформации.

• Исключительная ультрафиолетовая и инфракрасная проходимость
  Предлагает отличную оптическую четкость от глубокого ультрафиолета (DUV) до ближнего инфракрасного (NIR).

• Низкое тепловое расширение
  Обеспечивает размерную стабильность при тепловом цикле, уменьшая напряжение компонентов.

• Химическая инертность
  Устойчив к большинству кислот, оснований и растворителей; идеально подходит для суровых условий процесса.

• Контроль качества поверхности
  Доступен в сверхгладких, двойных сторонах полированных форматов для оптических и MEMS приложений.

Производственный процесс

Сплавленные кварцевые пластинки производятся следующими способами:

1. Выбор сырья:Выбираются и очищаются высокочистые натуральные кварцевые пески или кристаллы.

2. Сплав и слияние:Кварцевые гранулы расплавляются при температуре ~ 2000 °C в электрических печах в контролируемой атмосфере для удаления пузырей и примесей.

3. Закаливание и блокирование:Расплавленный материал охлаждается в твердые слитки или блоки.

4. Нарезка вафли:Точные проволочные пилы перерезают затвердевший расплавленный кварц в вафли.

5. Окрашивание и полировка:Поверхности вафелей измельчают, лапают и полируют, чтобы достичь точной толщины и плоскости.

6. Уборка и проверка:Окончательные пластинки очищаются ультразвуковым способом в чистых помещениях класса 100/1000 и проверяются на наличие дефектов.

Заявления

Сплавленные кварцевые пластины используются в различных отраслях промышленности, требующих оптической прозрачности, тепловой долговечности и химической устойчивости:

Полупроводники

• Несущие пластинки в высокотемпературных процессах

• Диффузионные и ионные имплантационные маски

• Платформы для гравирования, осаждения и проверки

Фотоника и оптика

• Подложки для оптических покрытий

• Лазерные окна и разделители лучей

• Точные УФ и ИР оптические компоненты

Лаборатория и исследования

• Носители образцов для аналитических приборов

• Платформы для микрофлюидного и химического анализа

• Субстраты высокотемпературных реакций

Светодиоды и солнечные батареи

• Пластинки печей для изготовления светодиодных микросхем

• Субстраты для исследований и разработок фотоэлектрических элементов

Доступные спецификации

Технические преимущества

• Структура стеклообразнаяустраняет двойное преломление кристаллического кварца

• Нет кристаллической осиИдеально подходит для изотропного поведения в оптических приложениях

• Непорозная гладкая поверхностьдля улучшения чистоты и сцепления покрытия

• Пригодные для склеивания, скрещивания и фотолитографии

• С низким содержанием ОГдоступны для улучшения устойчивости к УФ-излучению

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

Вопрос 1: В чем разница между расплавленным кварцем и расплавленным кремниевым стеклом?
Оба относятся к аморфному SiO2, но "сплавленный кремний" часто подразумевает синтетически произведенное высокочистое стекло, в то время как "сплавленный кварц" получен из природного кварца.Их свойства практически идентичны в большинстве приложений.

Вопрос 2: Могут ли расплавленные кварцевые пластины использоваться в среде с высоким вакуумом?
Да, расплавленный кварц обладает чрезвычайно низким выбросом газов и высокой тепловой стабильностью, что делает его идеальным для вакуумных систем и космических приложений.

Вопрос 3: Подходят ли эти пластины для применения ультрафиолетового лазера?
Сплавленный кварц обладает превосходной проницаемостью в глубоком УФ-диапазоне (до ~ 185 нм), что делает его подходящим для лазерной оптики DUV и фотомаски.

Q4: Вы предлагаете настройку?
Да, мы изготавливаем пластины на основе требований клиента, включая диаметр, толщину, поверхность и лазерную резку.