<img alt="" src="/photo/sapphire-substrate/editor/20260601172040_96638.jpg </div> </div> <hr data-end=" 5165"="" data-start="5162">

Свойства материала поликристаллического SiC CVD

Поликристаллический SiC CVD получают методом химического осаждения из паровой фазы. Он отличается плотной структурой, высокой чистотой, отличной коррозионной стойкостью и высокой стабильностью в чистых полупроводниковых технологических средах.

Преимущества продукта

Высокая чистота

Чистота CVD SiC может достигать99,99997%, помогая снизить риск загрязнения металлами в процессах обработки полупроводников.

Отличная стойкость к плазменной коррозии

CVD SiC сохраняет хорошую стабильность в плазменных средах на основе фтора и хлора, уменьшая износ компонентов и образование частиц.

Высокая теплопроводность

С теплопроводностью240–360 Вт/м·К, CVD SiC помогает улучшить однородность теплового поля и стабильность процесса.

Высокотемпературная стабильность

Компоненты CVD SiC подходят для EPI, диффузии, RTP и других высокотемпературных процессов. Они сохраняют хорошую стабильность размеров во время длительного использования.

Высокая твердость и износостойкость

Высокая твердость по Виккерсу обеспечивает превосходную износостойкость и помогает продлить срок службы компонентов.

Доступна индивидуальная обработка

Изделия могут быть изготовлены по чертежам заказчика, включая внешний диаметр, внутренний диаметр, отверстия, канавки, ступеньки, фаски, состояние поверхности и точность сборки.

Области применения

Поликристаллические компоненты SiC CVD широко используются в:

• Оборудование для сухого травления
• Эпитаксия оборудование
• Диффузионное печное оборудование
• РТП оборудование
• OEM-запчасти для полупроводникового оборудования
• Замена запасных частей вафельного завода
• Процессы производства пластин Si, SiC, GaN, GaAs

Вопросы и ответы

Q1: Что такое поликристаллический SiC CVD?компонентыиспользуется для?

CVD поликристаллический SiCкомпонентыв основном используются в полупроводниковых интерфейсахоборудование,включая Сухойтравить, EPI, диффузия и RTPсистемы.Типичныйпродукты включают в себяКольца SiC, SiCэлектроды,крайкольца, суцепторы, лодочки SiC и макеты пластин..

Вопрос 2: Каковы преимущества CVD SiC по сравнению с кварцевыми или кремниевыми деталями?

CVD SiC предлагает лучшееплазменная коррозиясопротивление, высокая температурастабильностьтеплопроводность, твердость иуслугажизнь. Он можетуменьшать частицапоколение икомпонентносить вжесткийполупроводникпроцесс окружающая среда.

Q3: Какие материалыдоступныйдля этихкомпоненты?

Мы можем предоставитькомпонентысделанный изCVD SiC, одинарныйкристаллкремний, мульти-кристаллкремний и кварц, в зависимости отприложениеиоборудование требования.